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离子探针仪器的四个分类以及应用【欢迎您】


本文摘要:离子探针仪器的归类  一般来说把离子束斑低于十米之上的,称之为非光学宏观经济探针(nonimagingmacroprobes);把离子束斑超过10nm的称之为离子微探针(microprobes)。

离子探针仪器的归类  一般来说把离子束斑低于十米之上的,称之为非光学宏观经济探针(nonimagingmacroprobes);把离子束斑超过10nm的称之为离子微探针(microprobes)。  离子探针仪器的四个归类和运用于:就光学技术性来讲,可分为扫瞄型离子微探针(scanningionmicroprobes)和监控摄像头型离子探针。前面一种的一次离子束斑直徑较小,(1米),并在样品上扫瞄,类似透射电镜(SEM)和扫瞄俄赫尔微探针(SAM),也叫离子微探针。后面一种是一次离子束斑较小(~300m),并原地不动,而二次离子光学(secondaryionoptics)扫瞄光学,也叫离子光学显微镜(ionmicroscope),空间分辨率~0.1m。

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  在离子探针迅速发展趋势中,要表述或列出全部各有不同的仪器不是有可能的。概括地说,能够分为下列几种。  1.非光学离子探针  2.离子光学显微镜  3.扫瞄离子微探针  4.图象人体解剖学离子探针(imagedissectingionprobes)  离子探针仪器的运用于  像离子探针仅限于于很多各有不同种类的样品。

下边得到一些象征性事例。  一,金属材料样品  它是理想化的样品,会浓差极化。最先可用SEM必需寻找很感兴趣的剖析区。用以模型样品和用以扫瞄离子探针,沿模型线扫瞄的方式是一种简易的技术性,可做为动态性SIMS的补充。

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可作为氢氧化物强健、锈蚀、焊、变形超温掉下来和晶体间界缩松等层面的科学研究。  二,半导体元器件  检验掺加产自模型和层形构造。伴随着集成电路工艺集成电路芯片的发展趋势,扫瞄离子探针剖析更为最重要。

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  三,导电介质样品  聚合物和玻璃制品是典型性绝缘层样品。为子解决困难浓差极化难题,火焰光度计已产品研发出拥有微讨论扫瞄原子束,能够对绝缘层样品造成高品质的离子像。

但当竖向屏幕分辨率需要高过5m时,所述源就没法符合要求了。这时仍仅用讨论微离子束。

这些方面己顺利地得到 了蝇类触角的离子像。运用于的另一个行业是高分子材料,特别是在是科学研究这类原材料裂缝页面的状况。


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